Film piezoelectric element and its manufacture method and actuator

薄膜压电体元件及其制造方法并致动器

Abstract

包含至少一个由具有彼此相对的第一面和第二面的薄膜压电体、该第一面上的第一的第一电极金属膜、第二面上的第二电极金属膜构成的单位层叠体,在第一电极金属膜和第二电极金属膜之间设置了由与第一面平行的薄膜压电体表面构成的电极分离面。提供电极金属膜的漏电流少的薄膜压电体元件及其制造方法。

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